大負(fù)載通孔·掃描運(yùn)動(dòng) Carrier.S100/200.zTxTy.C

? 針對(duì)Z 方向掃描運(yùn)動(dòng)，兩軸搖擺調(diào)節(jié)，保證真正準(zhǔn)直

• 三維度Z, θxy掃描運(yùn)動(dòng)；

• Z方向 100/200 um 行程，1/2 mrad & 1/2 mrad;

• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 1 nm；

• 最大負(fù)載 5 kg；

• 針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案；

• ?持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí)；

壓電陶瓷偏轉(zhuǎn)臺(tái)，高負(fù)載通孔型，zTxTy方向——詳細(xì)參數(shù)：

壓電陶瓷偏轉(zhuǎn)臺(tái)，高負(fù)載通孔型，zTxTy方向——尺寸圖：

多場(chǎng)科技“壓電掃描臺(tái)·通孔型"解決方案包括Carrier.S 系列（標(biāo)準(zhǔn)型）和Carrier.SL 系列（輕量型）。Carrier.S & SL系列主要針對(duì)精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征等應(yīng)用場(chǎng)景，覆蓋載物臺(tái)“大行程·高精度·重負(fù)載"等需求，核心特點(diǎn)包括：

• 運(yùn)動(dòng)方式覆蓋線性運(yùn)動(dòng) & 俯仰運(yùn)動(dòng)

• X，Z，XY，XYZ & ZTT等運(yùn)動(dòng)形式全面支持

• 線性運(yùn)動(dòng)行程覆蓋100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持電容(.C) 位置傳感

• 最高分辨率達(dá)到0.2 nm

• 超快運(yùn)動(dòng)響應(yīng) & 長時(shí)間疲勞測(cè)試

• 支持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí)